Spesifikasyon | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (Ray kote yo pote lè) |
Kalite motè | Twa-faz ironless motè | Vwa bobin motè + |
Rezolisyon | Default 100nm kantite dijital | 1vpp desann nan 5nm |
Poussée motè | Kontinyèl 60N / pik 210N | Kontinyèl 60N / pik 210N |
Gwosè etap minimòm [nm] | 200nm | 100nm |
Vwayaj [mm] | 200×200 | 10 |
Repetibilite [um] | ± 0.3 | |
Presizyon pozisyon [um] | ±1 | ±0.5 |
plat [um] | 10um | 5um |
Dwat [um] | 1um | 1um |
Vitès maksimòm [mm/s] | 500mm/s | 30mm/s |
Kapasite chaj [kg] | 5kg (Z aks ak pneumatik konstan fòs balans pwa) |